半導體潔淨技術
| 作者 | 小川 洋輝/崛池靖浩 |
|---|---|
| 出版社 | 普林斯頓國際有限公司 |
| 商品描述 | 半導體潔淨技術：■審閱者簡介楊肇政學歷：日本東京工業大學化學工程博士經歷：親民工商專科學校校長 國立雲林科技大學化學工程系教授 兼工程學院院長 工業 |
內容簡介
內容簡介 ■審閱者簡介楊肇政學歷：日本東京工業大學化學工程博士經歷：親民工商專科學校校長 國立雲林科技大學化學工程系教授 兼工程學院院長 工業污染防治研究中心主任 工程科技研究所所長現任：僑光技術學院校長 雲林科技大學教授專長：電化學、熔爐鹽化學、材料化學、污染防治■本書目錄第一章 積體電路與潔淨技術簡史第二章 晶圓上之污染物及表面狀態對元件之影響第三章 過去的潔淨技術 ─ 以 RCA 清洗法為中心第四章 晶圓表面污染物的附著及清洗機構第五章 新的清洗方法 ─ 以擺脫 RCA 清洗法為目標第六章 溼式清洗設備第七章 乾式清洗法第八章 晶圓表面污染物的檢測方法第九章 潔淨技術的課題及今後的展望
商品規格
| 書名 / | 半導體潔淨技術 |
|---|---|
| 作者 / | 小川 洋輝 崛池靖浩 |
| 簡介 / | 半導體潔淨技術：■審閱者簡介楊肇政學歷：日本東京工業大學化學工程博士經歷：親民工商專科學校校長 國立雲林科技大學化學工程系教授 兼工程學院院長 工業 |
| 出版社 / | 普林斯頓國際有限公司 |
| ISBN13 / | 9789867688101 |
| ISBN10 / | 9867688104 |
| EAN / | 9789867688101 |
| 誠品26碼 / | 2680021416004 |
| 注音版 / | 否 |
| 裝訂 / | N:無 |
| 語言 / | 1:中文 繁體 |
| 級別 / | N:無 |