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內容簡介
光學薄膜是指在光學元件上或獨立基板上鍍上一層或多層之介電質膜或金屬膜或介電質膜與金屬膜組成之膜堆來改變光波傳遞的特性。所以薄膜光學這一門科學,即在研究光波在這些薄膜中行進的現象與原理。包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位變化等,進而設計及製造各種單層及多層之光學薄膜來達到科學與工程上的應用。本書原為授課之講義,因隨著科技的進展必須補充新的教材,故在第二版出版不到一年的時間,立即增添新內容,目前已至第八版,內容詳實和更新速度最適合專業人士和學生研讀。
產品目錄
目次
符號說明 xii
1. 引言 1
2. 基本理論 9
電磁波 9
單界面之反射與透射 20
單層膜之反射與透射 41
多層膜之反射與透射 60
多層膜矩陣的一些特性 65
非相干性之反射與透射 68
金屬薄膜之光學特性 76
3. 光學薄膜設計之圖示法 90
向量法 90
導納軌跡法 100
計算機程式之應用 132
4. 分光鏡 138
中性分光鏡 138
雙色分光鏡 145
偏振光分光鏡 147
5. 高反射鏡 152
金屬膜反射鏡 152
全介電質膜高反射鏡 168
全介電質膜高反射帶之拓寬 173
膜層損耗對四分之一波膜堆的影響 176
量子點在薄膜中的應用 181
6. 截止濾光片 188
非干涉型截止濾光片 188
干涉型截止濾光片 189
7. 帶止濾光片 212
高低折射率膜堆法 212
折射率漸變膜及非均勻膜法 214
8. 帶通濾光片 223
寬帶濾光片 223
窄帶濾光片 224
多腔窄帶濾光片 239
誘導透射濾光片 256
9. 斜向入射薄膜 265
斜向入射時薄膜折射率之修正 265
斜向入射時光學導納之修正 267
消偏振鍍膜 273
斜向入射效應之應用 284
金屬鍍保護膜後之斜向反射率 286
10. 光學薄膜的製鍍方法 289
液體成膜法 289
氣體成膜法 292
增能助鍍及其他方法 319
11. 光學薄膜之特性與製鍍技術的改進 321
各種改進膜質的製鍍方法 332
混合式改進法 349
以單一材料製鍍多層膜 355
膜微觀結構與雙折射特性 358
12. 薄膜厚度之均勻性及鍍膜厚度之監控 366
膜分佈之理論分析 366
實作基板支撐架及膜厚監控的選擇 377
13. 光學薄膜特性的量測 400
薄膜光學常數的量測 400
薄膜透射率、反射率、吸收與散射量測 416
薄膜堆積密度之量測 428
薄膜表面輪廓及粗糙度的量測 429
薄膜微硬度、抗擦性、附著性及環境溫溼變化之量測 433
薄膜應力之量測 439
薄膜微觀結構之分析 446
薄膜成份之分析 448
雷射輻射對薄膜損傷承受值的量測 449
14. 光學薄膜材料 456
光學薄膜之基本要求 456
常用光學薄膜之製鍍與特性 463
兩種材料混合的折射率 470
毒性 472
15. 紫外光及X-光波域之光學薄膜 474
紫外光光學薄膜 476
X-光光學薄膜 480
16. 光學濾光片製鍍範例 491
濾光片的設計 491
基板的準備 512
鍍膜與膜厚之監控 514
光學成效檢驗 516
非光學特性之檢驗 517
鍍膜機的清理 517
17. 光學薄膜與色彩 519
CIEXYZ色度座標 519
光度學 526
光源 528
光學薄膜的色彩與應用 529
18. 塑膠及軟性基板的鍍膜 543
塑膠基板的光學鍍膜 544
疏水膜與親水膜 550
軟性基板的阻氣膜 556
19. 超穎薄膜 568
電磁波的的傳遞與負折射率材料 569
介電質-金屬介面的表面電漿 573
介電質與金屬組合之膜堆 577
對入射角變化不敏感的濾光片 577
廣波域近乎完全吸收膜 585
突破繞射極限的濾光片 588
附錄一 光波之相干性與干涉 601
附錄二 CIE 1931配色函數與光譜光視效函數 618
附錄三 光學薄膜材料特性 621
附錄四 有關薄膜光學原理、製作及檢測之參考書與會議 626
索引 630
符號說明 xii
1. 引言 1
2. 基本理論 9
電磁波 9
單界面之反射與透射 20
單層膜之反射與透射 41
多層膜之反射與透射 60
多層膜矩陣的一些特性 65
非相干性之反射與透射 68
金屬薄膜之光學特性 76
3. 光學薄膜設計之圖示法 90
向量法 90
導納軌跡法 100
計算機程式之應用 132
4. 分光鏡 138
中性分光鏡 138
雙色分光鏡 145
偏振光分光鏡 147
5. 高反射鏡 152
金屬膜反射鏡 152
全介電質膜高反射鏡 168
全介電質膜高反射帶之拓寬 173
膜層損耗對四分之一波膜堆的影響 176
量子點在薄膜中的應用 181
6. 截止濾光片 188
非干涉型截止濾光片 188
干涉型截止濾光片 189
7. 帶止濾光片 212
高低折射率膜堆法 212
折射率漸變膜及非均勻膜法 214
8. 帶通濾光片 223
寬帶濾光片 223
窄帶濾光片 224
多腔窄帶濾光片 239
誘導透射濾光片 256
9. 斜向入射薄膜 265
斜向入射時薄膜折射率之修正 265
斜向入射時光學導納之修正 267
消偏振鍍膜 273
斜向入射效應之應用 284
金屬鍍保護膜後之斜向反射率 286
10. 光學薄膜的製鍍方法 289
液體成膜法 289
氣體成膜法 292
增能助鍍及其他方法 319
11. 光學薄膜之特性與製鍍技術的改進 321
各種改進膜質的製鍍方法 332
混合式改進法 349
以單一材料製鍍多層膜 355
膜微觀結構與雙折射特性 358
12. 薄膜厚度之均勻性及鍍膜厚度之監控 366
膜分佈之理論分析 366
實作基板支撐架及膜厚監控的選擇 377
13. 光學薄膜特性的量測 400
薄膜光學常數的量測 400
薄膜透射率、反射率、吸收與散射量測 416
薄膜堆積密度之量測 428
薄膜表面輪廓及粗糙度的量測 429
薄膜微硬度、抗擦性、附著性及環境溫溼變化之量測 433
薄膜應力之量測 439
薄膜微觀結構之分析 446
薄膜成份之分析 448
雷射輻射對薄膜損傷承受值的量測 449
14. 光學薄膜材料 456
光學薄膜之基本要求 456
常用光學薄膜之製鍍與特性 463
兩種材料混合的折射率 470
毒性 472
15. 紫外光及X-光波域之光學薄膜 474
紫外光光學薄膜 476
X-光光學薄膜 480
16. 光學濾光片製鍍範例 491
濾光片的設計 491
基板的準備 512
鍍膜與膜厚之監控 514
光學成效檢驗 516
非光學特性之檢驗 517
鍍膜機的清理 517
17. 光學薄膜與色彩 519
CIEXYZ色度座標 519
光度學 526
光源 528
光學薄膜的色彩與應用 529
18. 塑膠及軟性基板的鍍膜 543
塑膠基板的光學鍍膜 544
疏水膜與親水膜 550
軟性基板的阻氣膜 556
19. 超穎薄膜 568
電磁波的的傳遞與負折射率材料 569
介電質-金屬介面的表面電漿 573
介電質與金屬組合之膜堆 577
對入射角變化不敏感的濾光片 577
廣波域近乎完全吸收膜 585
突破繞射極限的濾光片 588
附錄一 光波之相干性與干涉 601
附錄二 CIE 1931配色函數與光譜光視效函數 618
附錄三 光學薄膜材料特性 621
附錄四 有關薄膜光學原理、製作及檢測之參考書與會議 626
索引 630
作者介紹
李正中
現職:中央大學榮譽講座教授
學歷:成功大學物理系學士(1969) 碩士(1974);
.美國亞歷桑那大學光學中心 博士(1983)
PhD. Optical Sciences Center, U. of A., USA, 1983
經歷:國立中央大學 光電講座教授;
國立中央大學 理學院 院長(2010~2016);
中興大學 薄膜講座教授(2009~2019); 逢甲大學 特約講座教授(2015~2019); 中央大學光電所 第五屆所長(1993~1996); 中央大學光電科學與工程學系 籌備系主任; 第一屆系主任(2006~2009); 中央大學薄膜技術中心 籌備主任;第一屆中心主任(2004~2016); 國家科學委員會工程處光電學門 召集人(2005~2008); 光電協進會PIDA常務董事; 中華民國光學工程學會第十屆 理事長; 中華民國光電學會第一屆 理事長(2007 ~2013); 中華民國真空學會第六屆 理事長(1996~1998); 巴黎第13大學雷射物理實驗室 客座教授(2009, 2010);日本ULVAC千葉超材料研究所 教授研究員(2001 ~2003); 上海交大國家重點複合材料實驗室 客座教授(2010); 工業技術研究院(ITRI) 光電所、材料所、電子所、機械所、國家實驗研究院(NARL) 太空中心、精密儀科中心及台、美、日數家鍍膜公司與鍍膜機製造商之顧問; 國際大型光學會議ODF’08 & OPTIC 2013主席;
Chair of SPIE Fellow Committee 2011 & 2012;SPIE & OSA台灣分會 會長;
.Applied Optics, Optics Letters等二十多種國際著名學術期刊之審查學者;
指導碩士生、博士生畢業220人以上;開授校外短期密集課程85次以上。
獎項:經濟部技術處2007年大學產業經濟貢獻獎(產業深耕獎);
國科會2009年傑出研究獎;國科會2009年傑出技術移轉獎;中央大學傑出技轉獎;
中華民國光電學2014年光電工程獎;台灣鍍膜科技協會2014年卓越貢獻獎;
國際光學工程學會(SPIE) Fellow;美國光學學會(OSA) Fellow;
國際光學工程學會2016年度 教育家獎 (2016 The SPIE Educator Award);
美國光學學會2018年度 Sang Soo Lee獎 (2018 The OSA Sang Soo Lee Award)。
著作:1. “Ion beam sputtering”, 1995, Chapter of “Thin Films for Optical System”, ed. by F. R. Flory, Marcel Dekker Inc.
2. “光學薄膜と成膜技術”, 2002年, ULVAC 譯 (日文), 2008年四刷。
3. “光電科技概論”總編輯, 2010年第二版,中央大學光電系教授群合著書。
現職:中央大學榮譽講座教授
學歷:成功大學物理系學士(1969) 碩士(1974);
.美國亞歷桑那大學光學中心 博士(1983)
PhD. Optical Sciences Center, U. of A., USA, 1983
經歷:國立中央大學 光電講座教授;
國立中央大學 理學院 院長(2010~2016);
中興大學 薄膜講座教授(2009~2019); 逢甲大學 特約講座教授(2015~2019); 中央大學光電所 第五屆所長(1993~1996); 中央大學光電科學與工程學系 籌備系主任; 第一屆系主任(2006~2009); 中央大學薄膜技術中心 籌備主任;第一屆中心主任(2004~2016); 國家科學委員會工程處光電學門 召集人(2005~2008); 光電協進會PIDA常務董事; 中華民國光學工程學會第十屆 理事長; 中華民國光電學會第一屆 理事長(2007 ~2013); 中華民國真空學會第六屆 理事長(1996~1998); 巴黎第13大學雷射物理實驗室 客座教授(2009, 2010);日本ULVAC千葉超材料研究所 教授研究員(2001 ~2003); 上海交大國家重點複合材料實驗室 客座教授(2010); 工業技術研究院(ITRI) 光電所、材料所、電子所、機械所、國家實驗研究院(NARL) 太空中心、精密儀科中心及台、美、日數家鍍膜公司與鍍膜機製造商之顧問; 國際大型光學會議ODF’08 & OPTIC 2013主席;
Chair of SPIE Fellow Committee 2011 & 2012;SPIE & OSA台灣分會 會長;
.Applied Optics, Optics Letters等二十多種國際著名學術期刊之審查學者;
指導碩士生、博士生畢業220人以上;開授校外短期密集課程85次以上。
獎項:經濟部技術處2007年大學產業經濟貢獻獎(產業深耕獎);
國科會2009年傑出研究獎;國科會2009年傑出技術移轉獎;中央大學傑出技轉獎;
中華民國光電學2014年光電工程獎;台灣鍍膜科技協會2014年卓越貢獻獎;
國際光學工程學會(SPIE) Fellow;美國光學學會(OSA) Fellow;
國際光學工程學會2016年度 教育家獎 (2016 The SPIE Educator Award);
美國光學學會2018年度 Sang Soo Lee獎 (2018 The OSA Sang Soo Lee Award)。
著作:1. “Ion beam sputtering”, 1995, Chapter of “Thin Films for Optical System”, ed. by F. R. Flory, Marcel Dekker Inc.
2. “光學薄膜と成膜技術”, 2002年, ULVAC 譯 (日文), 2008年四刷。
3. “光電科技概論”總編輯, 2010年第二版,中央大學光電系教授群合著書。
規格
誠品貨碼 / 2681883133009
ISBN13 / 9789863940296
ISBN10 / 9863940291
EAN貨碼 / 9789863940296
頁數 / 652
開數 / 16
注音版 / 否
裝訂 / H:精裝
語言 / 1:中文/繁體
尺寸 / 26.8X20.3X3.6CM
級別 / N:無
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