半導體工廠: 設備、材料、製程及提升產業復興的處方籤 | 誠品線上

半導体工場のすべて

內容簡介

內容簡介 日本半導體界教父－－菊地正典，集合40年業界心血結晶，完全介紹半導體工廠相關細節。從設廠開始，各廠房的機台設備，水電來源，製程詳解，甚至提醒廠方與當地政府溝通，維持官商良好關係等。除了半導體電子相關業界，也是各產業不能不讀的一本指南。本書並由國立交通大學電子物理系教授 趙天生老師審定。半導體本身為高科技產品，因此製造半導體的工廠，集高科技、高know-how、高系統化為一身，是世界上最優秀的製造工廠。對於各製造產業來說，不僅是電子製造業的仿效模範，對於其他產業，也必須向半導體工廠學習。著名的香港經濟學家張五常曾說過，做工廠是很難的，能夠做廠而賺錢的人非常厲害。半導體工廠鳥瞰圖晶圓的純度為99.999999999%以空氣供給氮氣的設備佈線技術源自金屬鑲嵌工藝冗餘電路等保險措施的導入切割為頭髮十分之一的精密裝置稅制較人事成本更為舉足輕重超純水使用量高達數千噸停電對策與靜電對策半導體工廠的氫爆事件無塵室結構與使用國際半導體廠的戰略爾必達，日本半導體凋落的原因

作者介紹

作者介紹 ■作者簡介菊地正典1944年生，1968年日本東京大學工學部物理工學科畢業後，即進入日本電氣公司（NEC），從事一貫半導體元件及製程開發相關工作，累積半導體開發與量產的豐富經驗。1996年擔任NEC公司半導體事業集團總工程師，2000年擔任NEC電子元件總工程師，2002年起擔任日本半導體製造裝置協會（SEAJ）專務理事，2007年起擔任日本半導體能源研究所顧問。著作有：《圖解圖解電子裝置》（世茂出版），監修《圖解半導體製造裝置》（世茂出版）、《日本頂尖工程師的生存筆記》（智富出版）。趙天生／審定國立交通大學電子物理系教授、國立交通大學電子研究所博士。研究專長：半導體元件物理、深次微米前段元件製程、奈米元件製作、薄膜電晶體、超薄絕緣層製備、半導體晶圓潔淨技術。實驗室：先進半導體製程與量測實驗室。■譯者簡介龔恬永1980年生，水瓶座，國立交通大學電子工程系、經濟部ITI兩年期日語組畢，TOEIC 935分。現任科技公司中階主管。欲貢獻所學所識於他人，兼職譯者，包括英日、中日互譯，領域涵蓋科技翻譯、專利翻譯以及一般領域。

產品目錄

產品目錄 序言第1章 進入半導體工廠01 鳥瞰半導體工廠02 生產線的總體確認03 工廠各部門組織圖04 工廠地理位置條件05 半導體工廠的變電所設備06 化學藥液、氣體供應、廢棄物處理系統第2章 半導體是這樣製造的01 什麼是「半導體」 02 半導體製造過程03 前段製程1「FEOL」 04 前段製程2「BEOL」05 矽晶圓06 薄膜製造法、堆疊法07 如何燒入電路08 蝕刻製程進行加工成型09 99‧9純度，加入不純物10 晶圓的熱處理11 使表面平坦化的CMP製程第3章 半導體製造的幕後製程01 微塵徹底洗淨02 洗淨後「沖洗→乾燥」03 利用鑲嵌技術佈線04 半導體晶片的針測05 「冗餘電路」保險措施的導入06 晶圓切割晶片的技術07 裝載在基座上08 打線連接金屬線09 導線的表面處理10 保護晶片的「封裝」11 引腳加工成型12 晶片識別「蓋印」第4章 半導體材料、機械、設備01 為什麼需要進口矽晶圓？02 將機台導入工廠03 機台相同，生產的半導體也相同？04 半導體的成本結構05 材料的保存期限06 晶圓外緣為什麼不利用07 超純水的供應08 超純水的純度09 藥液、氣體等級與純度10 計算設備稼動率11 矽烷氣體會自燃，是危險物12 半導體工廠的「氫爆」13 「曝光技術「高精密度核心14 從批量處理到單片處理15 快速加熱處理第5章 檢驗、篩選錯誤與出貨01 如何篩選不良品？02 包裝前出貨的良品晶粒03 半導體的樣品04 可靠性實驗與篩檢05 同樣規格的不同運作速度06 半導體出貨、包裝的注意事項07 透過半導體公司銷售與直接銷售08 處理客訴問題，改善晶片第6章 「默契、原則」與潛規則01 半導體工廠輪班制度02 機器人與磁浮搬送設備03 機台編號指定、群管理04 微粒子扼殺半導體05 CIM的三大作用06 工程管理的統計數據支持07 透過傾向管理，揪出異常徵兆08 產業廢棄物處理業者違法棄置，公司的連帶責任09 無塵室潔淨度10 進入無塵室前的慣例11 無塵室構造與使用規範12 「局部潔淨化」策略13 無塵室是宇宙實驗室？14 特急、急行、普通電車同時在產線上第7章 工廠員工真正的想法—工廠因人而存在！01 蘊釀新想法的吸煙室02 對於外界工廠參觀，原則上「拒絕」03 半導體工廠的「改善」04 非正式員工的工作05 確認、確認再確認06 所需的執照第8章 半導體工廠的秘密01 垂直式爐成為主流的原因02 濕洗淨之外的洗淨方法03 「良率」是什麼？04 批次的大小，對生產的影響05 無塵服的顏色區別06 氣體鋼瓶室的設置細節07 靜電處理對策08 輕鬆參觀無塵室09 定期點檢是在確認什麼10 調整裝置水平11 半導體工廠的零排放12 半導體廠商的產業策略13 裝置製造商洩漏情報的問題14 備而不用的停電對策15 無塵室的健康調查復興日本半導體的處方籤索引

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