■作者簡介
野尻一男(Nojiri Kazuo)
1973年 群馬大學工學部電子工學科畢業。
1975年 群馬大學大學院工學研究科碩士課程修畢。
1975年 進入日立製作所。在半導體事業部從事CVD、元件整合、乾蝕刻的研究開發。尤其是關於ECR電漿蝕刻、充電損傷,進行先驅的研究。而且擔任技術開發的領導,歷任許多經理職務。
2000年 進入Lam Research公司擔任董事‧CTO至今。
主要受獎
1989年 以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。
1994年 以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
主要著作
《先端電気化学》(丸善)共著
《半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ》(リアライズ社)共著
■譯者簡介
倪志榮(Ni, Chih-Jung)
1988年 國立清華大學畢業
1991年 中日交流協會留日獎學生
1993年 日本東京大學工學院碩士
2014年 中部科學園區模範勞工
曾任地球村美日語中心日語講師
現職華邦電子公司模組技術發展部經理,從事DRAM與Flash的製程研發。
退貨須知:
依「通訊交易解除權合理例外情事適用準則」,下列商品不適用七日猶豫期,除產品本身有瑕疵外,不接受退貨:
若您退貨時有下列情形,可能被認定已逾越檢查商品之必要程度而須負擔為回復原狀必要費用(整新費),或影響您的退貨權利,請您在拆封前決定是否要退貨: