高科技廠務 (第5版) | 誠品線上

高科技廠務 (第5版)

內容簡介

內容簡介 這些年來光電、生物科技迅速掘起加速更新，半導體也推陳出新挑戰極限，而這些改變則是需要嚴格的生產廠房及研發環境，但在目前市面是並無以有系統介紹建立高科技廠房的專業案頭書，有鑑於此，作者將二十多年來在高科技產業的執行及顧問經驗，將所有的廠務系統作全面有秩序的整理編寫。本書共分為十三大章，內容涵蓋了潔淨室和廠務之八大系統，除此之外有風險管理和建廠工程之規劃內容和執行原則介紹，本書的內容偏重實務之應用面和執行面。本書適合科大電機系、能源與冷凍空調工程系「半導體廠務」、「半導體與光電廠務設施」課程使用。

產品目錄

產品目錄 第1章 潔淨室與空調1-1 前 言1-2 潔淨室定義與發展史1-3 潔淨室標準與規格1-4 潔淨室適用範圍1-5 潔淨室分類1-6 潔淨空氣流分析1-7 不同障礙物對氣流之影響1-8 潔淨室設計規劃1-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁干擾之防制1-10 潔淨室空調設計1-11 潔淨室建造、組裝材及程序1-12 潔淨室測試與驗收1-13 潔淨室運轉與維護管理1-14 潔淨室自動化系統1-15 潔淨室建造成本分析第2章 超純水處理2-1 前 言2-1-1 純水之功能2-1-2 水中之污染物2-1-3 水中不純物之測定分析2-2 超純水之製造2-2-1 超純水之規範2-2-2 純水製造類別分析2-2-3 純水製造用膜材質比較2-3 高科技產業用超純水2-3-1 高科技廠純水製造流程2-3-2 各製程模組件功能分析2-3-3 超純水管路設計2-3-4 超純水運轉、故障排除與品質監控第3章 中央式化學品供應系統3-1 前 言3-2 化學品供應需求要素3-3 化學品供應種類3-4 化學品供應系統之架構與作用原理3-5 化學品配管與安全考量3-6 結 論第4章 中央式氣體供應系統4-1 前 言4-2 光電廠和半導體廠所使用之氣體4-3 氣體的規範4-4 中央式氣體供應架構4-5 供氣系統的安全技術4-6 氣體的供應輸送4-7 氣體供應的規劃與設計第5章 廢水處理及回收5-1 前 言5-2 排放標準5-3 廢水種類5-4 廢水處理系統介紹5-5 廢水處理之規劃設計運轉第6章 電力供應與中央監控6-1 前 言6-2 電力供應系統組成6-3 受電供電設備6-4 建廠電力系統規劃6-5 電力供應系統設備運轉管理6-6 廠務中央監控系統第7章 廠務設施架構7-1 前 言7-2 冰水及冷凝冷卻水7-3 熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應系統7-4 製程冷卻水7-5 乾燥壓縮空氣／呼吸用空氣7-6 製程真空和清潔用真空系統第8章 環境保護與工業安全維護8-1 前 言8-2 環保與工安之功能目的8-3 半導體與光電廠廢氣處理規劃8-4 廢氣種類與排放標準8-5 廢氣處理方式8-6 廢棄物處理與減廢8-7 有關環保相關申請文件及流程8-8 工業安全與衛生維護第9章 管路設計及空間佈置規劃9-1 前 言9-2 管路材質選用9-3 氣體管路配管9-4 管路標示9-5 管路設計規劃9-6 管路之空間佈置第10章 建廠設計評估及施工監造管理10-1 前 言10-2 建廠工程規劃10-3 建廠工程設計及施工執行流程第11章 風險評估管理計劃11-1 前 言11-2 風險管理四要素11-3 風險評估程序11-4 損害防阻執行11-5 災害復原計畫第12章 高科技廠建廠及運轉成本分析12-1 前 言12-2 建廠時程12-3 建廠成本分析12-4 廠務系統用量分析第13章 結 語附 錄 簡稱字彙

商品規格

最佳賣點

最佳賣點 : 1.次世代半導體產業和新世代光電產業建廠廠務和潔淨室系統之最新資料和科技技術。
2.經驗和實務及運轉之技術和專業精華，不侷限理論而著重實務。
3.涵蓋廠務之所有系統和建廠工程實務規劃，將所有系統濃縮於一冊，便於研讀參考。