圖解真空技術入門 | 誠品線上

すかりやすい真空技術

內容簡介

內容簡介 目錄 1.油回轉幫浦 2.粗抽幫浦的排氣時間 3-2 增強粗抽能力的幫浦 3-3 油擴散幫浦 1.理想排氣速度及Ho氏係數 2.排氣機制的原理 3.實用的油擴散幫浦 4.油擴散幫浦的崩潰 5.油擴散幫浦的排氣速度曲線(S-P曲線) 3-4 渦輪分子幫浦 1.排氣機制的原理 2.排氣速度 3.渦輪分子幫浦的壓縮比 3-5 排氣系統的組合 1.綜合排氣特性 2.動態高真空排氣系統 第四章 真空的量測 4-1 量測從大氣壓到低真空領域的真空計 1.水銀壓力計 2.機械式壓力計 3.馬克勞真空計 4-2 低真空領域的實用真空計 1.將微小的變化量轉換成電子訊號並擴張其量測下限的隔膜真空計 2.利用分子熱傳導的真空計 3.旋轉轉子真空計1) 4-3 離子化真空計 1.三極管型熱陰極離子化真空計 2.貝寧真空計 4-4真空計的安裝方法 第五章 真空系統的組成零件 5-1 法蘭及襯墊 1.高真空法蘭 2.彈性襯墊 3.金屬襯墊法蘭 5-2真空閥 1.高真空用L型閥 2.高真空用閘閥 3.超高真空用VITON密封閥 4.超高真空用全金屬製可烘烤密封閥 5-3真空端子 1.彈性密封電流導入端子 2.金屬襯墊密封電流導入端子 3.彈性密封液體導入端子 4.超高真空用液體導入端子與連接頭 5.彈性軸心密封回轉導入端子 6.超高真空用回轉導入端子 7.超高真空用直線導入端子 第六章 測漏技術 6-1 分辨漏氣及氣體放出的方法 6-2易漏部份 6-3確實地測漏 1.吊袋法(hood method) 2.探測法(probe method) 6-4 氦氣測漏儀 1.氦氣測漏儀與標準漏氣 2.漏氣檢測的時效常數 3.找到漏氣來源之後 6-5 藉由質量分析儀來監控真空的品質 第七章 超高真空與潔淨的真空 7-1 高真空及超高真空在質上的差異 7-2產生超高真空 1. 濺鍍離子幫浦及鈦吸附幫浦 2. 機械式冷凝幫浦 7-3量測真空 1. 真空管型離子真空計的軟X光下限 2. 反向思考的B-A閥 7-4 放出氣體的特性 1. 不?袗?的放出氣體特性 2.烘烤及彈性體 3.陶瓷 4.烘烤及放出氣體的減量理論模型 7-5 超高度真空系統下的特殊構成零件 1.觀察窗口 2.超高真空系統的潤滑 7-6 到底何謂潔淨的真空? 第八章 真空工業的發展 8-1 真空技術之樹 8-2 先進的成膜加工之例 附錄 I 馬克士威分布法則 1.壓力 2.速度分佈 3.與音速的關係 附錄 II 氣體分子的平均自由徑 1.氣體分子相碰撞時的平均自由徑 2.平均自由徑與分子直徑的關係 3.的真正涵義 附錄 III 碰撞內壁的氣體分子數 索引

作者介紹

作者介紹 ■作者簡介小宮宗治作者簡介小宮 宗治 (Soji Komiya) 1948年 東京工業大學附屬工業專門部金屬工業科畢業 1959年 就職於日本真空技術株式會社 1977年 獲得東京工業大學工學博士學位 1979年 被任命為日本真空技術株式會社董事(director) 1986年 就職於株式會社Ulvac Cooperate Center董事(director) 1990年 就職於株式會社筑波研究聯合中心(consortium) 常務董事(director) 1995年 就職於株式會社筑波研究聯合中心(consortium) 專務理事 1998年 由株式會社筑波研究聯合中心(consortium) 專務理事退休 著作有：《電子管の歴史》（オーム社）《実験物理学講座4「真空技術」》（共立出版）《ナノテクノロジー‧表面分析の科学》（講談社）《表面処理と材料》（裳華房）以上四書為與他人共著作品。《超高真空がひらく世界》（講談社）《週末八ヶ岳いなか暮らし》（晶文社）《定年後八ヶ岳いなか暮らし》（晶文社） 譯者簡介羅丞曜日本東京大學畢業。電氣工學博士。現任國立清華大學奈米工程與微系統研究所 助理教授。近期研究興趣為半導體材料、光學微機電系統、印刷式生產技術及軟性電子元件。截至目前為止個人著有十八篇科技論文並擁有六件半導體元件製程國際專利。自2000年起持續從事英文及日文科技圖書及論文的翻譯、校稿及潤稿工作。目前譯有《圖解光與雷射應用》(世茂出版)。羅丞曜

產品目錄

產品目錄 1.油回轉幫浦2.粗抽幫浦的排氣時間3-2 增強粗抽能力的幫浦3-3 油擴散幫浦1.理想排氣速度及Ho氏係數2.排氣機制的原理3.實用的油擴散幫浦4.油擴散幫浦的崩潰5.油擴散幫浦的排氣速度曲線(S-P曲線)3-4 渦輪分子幫浦1.排氣機制的原理2.排氣速度3.渦輪分子幫浦的壓縮比3-5 排氣系統的組合1.綜合排氣特性2.動態高真空排氣系統第四章 真空的量測4-1 量測從大氣壓到低真空領域的真空計1.水銀壓力計2.機械式壓力計3.馬克勞真空計4-2 低真空領域的實用真空計1.將微小的變化量轉換成電子訊號並擴張其量測下限的隔膜真空計2.利用分子熱傳導的真空計3.旋轉轉子真空計1)4-3 離子化真空計1.三極管型熱陰極離子化真空計2.貝寧真空計4-4真空計的安裝方法第五章 真空系統的組成零件5-1 法蘭及襯墊1.高真空法蘭2.彈性襯墊3.金屬襯墊法蘭5-2真空閥1.高真空用L型閥2.高真空用閘閥3.超高真空用VITON密封閥4.超高真空用全金屬製可烘烤密封閥5-3真空端子 1.彈性密封電流導入端子2.金屬襯墊密封電流導入端子3.彈性密封液體導入端子4.超高真空用液體導入端子與連接頭5.彈性軸心密封回轉導入端子6.超高真空用回轉導入端子7.超高真空用直線導入端子第六章 測漏技術6-1 分辨漏氣及氣體放出的方法6-2易漏部份6-3確實地測漏1.吊袋法(hood method)2.探測法(probe method)6-4 氦氣測漏儀1.氦氣測漏儀與標準漏氣2.漏氣檢測的時效常數 3.找到漏氣來源之後6-5 藉由質量分析儀來監控真空的品質第七章 超高真空與潔淨的真空7-1 高真空及超高真空在質上的差異7-2產生超高真空1. 濺鍍離子幫浦及鈦吸附幫浦2. 機械式冷凝幫浦7-3量測真空 1. 真空管型離子真空計的軟X光下限2. 反向思考的B-A閥7-4 放出氣體的特性1. 不?袗?的放出氣體特性2.烘烤及彈性體3.陶瓷4.烘烤及放出氣體的減量理論模型7-5 超高度真空系統下的特殊構成零件1.觀察窗口2.超高真空系統的潤滑7-6 到底何謂潔淨的真空?第八章 真空工業的發展8-1 真空技術之樹 8-2 先進的成膜加工之例附錄 I 馬克士威分布法則1.壓力2.速度分佈3.與音速的關係附錄 II 氣體分子的平均自由徑1.氣體分子相碰撞時的平均自由徑2.平均自由徑與分子直徑的關係3.的真正涵義 附錄 III 碰撞內壁的氣體分子數索引

商品規格

活動

• 5/20前 全站滿$1,500享9折